超纯水处理PLC控制系统设计

论文类型	技术与工程	发表日期	2008-02-01
来源	电工技术
作者	何银平,唐建国,傅成华
关键词	超纯水处理人机界面 PLC
摘要	介绍了基于西门子S7-400系列PLC控制系统在某8英寸晶圆厂超纯水处理系统中的应用,并对其自动控制系统的控制结构和设计、电气设备、在线仪表和系统程序进行了初步阐述.

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