半导体制造业的环境污染与清洁生产

论文类型	综述	发表日期	2000-08-01
来源	环境保护
作者	余刚
关键词	半导体制造业清洁生产环境污染
摘要	在分析半导体制造过程中不同工艺产生的环境污染问题的基础上, 讨论了半导体制造业开展清洁生产的原则和途径,介绍了一些成功的清洁生产方案。

下载文档

论文搜索

很多时候您的文章总是无缘变成铅字。研究做到关键时，试验有了起色时，是不是想和同行探讨一下，工作中有了心得，您是不是很想与人分享，那么不要只是默默工作了，写下来吧！投稿时，请以附件形式发至 paper@h2o-china.com ，请注明论文投稿。一旦采用，我们会为您增加100枚金币。